Диафрагменное оборудование по конструкции отличается от «мокрого». Модели содержат гибкие диафрагмы, соединенные со штоками клапанов для открытия каналов и выпуска потоков. Спиральные аналоги тоже создают вакуум безмасляным способом. Принцип основан на пропускании газа под давлением 0,02 мБар через крупные отверстия с сужением к центру.
Во вторую группу входят дожимные (бустерные) насосы для отвода больших объемов газообразных веществ:
- двухроторные;
- кулачково-зубчатые;
- винтовые;
- мембранные.
Ко вторичным высоковакуумным агрегатам причисляют производительные диффузионные паромасляные. Принцип работы основан на передаче кинетической энергии перекачиваемому газу, выносу потока в выпускной коллектор. К этой группе причислены турбомолекулярные модели с вращающимися лопастями, продвигающие частицы к выпускному каналу. Третьи по счету – криогенные устройства. В них заложена технология заморозки или улавливание частиц с помощью холодных поверхностей.
Третью группу составляет оборудование для связывания молекул с помощью химических реакций на поверхностях внутренней полости. К ним относят адсорбционные (конденсационные), цеолитовые, геттерные насосы. Агрегаты разных типов востребованы в типографиях, сельском хозяйстве, металлургии, пищевой сфере для упаковок товаров, медицинском оборудовании, где важна чистота сжатых газовоздушных потоков.